エコハイパーフィルター
エレメント自動清掃装置

毎月のメンテナンスが半年に1回になる!!
半導体製造工程においては「粉化・粉体除去装置」は必需品ですが、従来の装置では「粉塵」が フィルタにすぐに目詰まりし,その度時間をかけてクリーニングをしたり、メンテナンスは毎月1回、 有毒ガス・可燃性ガスが隙間から漏れる心配をしながらの危険な作業、しかもコストもかかると問題点が多いものでした。
エコハイパーフィルターは、そのような問題を解決し、長期間にわたってシール性を 保証できるようにしたフィルタエレメントの自動清掃装置です。製造作業中にフィルタを自動清掃し、 集まった粉塵を自動で外部に排出。その為、メンテナンス期間を大幅に延ばすことが可能となりました。
シール性が非常に高く、有毒ガス・可燃性ガスが漏れ出す心配がない安全な作業となります。
従来機よりも、メンテナンス面・ランニングコストの面の問題を大幅に改革した新製品です。

従来の粉化・粉体除去装置

  • 粉がフィルターに溜まってすぐ目詰まりする
  • 毎月メンテナンスが必要
  • 機械本体を取り外してもう1台と入れ替えないといけない
  • ガスが隙間から漏れる心配がある

エコハイパーフィルター

  • 集まった粉塵が簡単に取れる
  • 機械本体は取り替えなくても別の粉塵回収容器に溜まったものだけ廃棄処分すればよい
  • 半年に1回だけのメンテナンス(1日8時間稼働)
  • メンテナンス料が格段に安い
  • 外部へのガスリーク0
特徴1:とても簡単なメンテナンス 驚きのコストパフォーマンス
あらかじめ設定された差圧になると、自動でフィルタ装置の入口、出口弁を遮断し、 フィルタのクリーニング・クリーニングガスによる容器内洗浄・集積した粉塵を自動で 外部に排出します。出てきた粉塵を廃棄するだけの作業となります。
容器内洗浄についても、独自のノズル機構及び制御方式により、効率的に容器内エレメント、 ブラシを洗浄し、従来装置と比較しメンテナンス期間を大幅(約毎月1回→半年1回)に 延ばすことが可能になり、莫大にかかるランニングコストの削減に成功しました。
特徴2:外部へのリーク0
フィルタ容器内は、有毒ガスや可燃性ガスが通過するので外気からは確実に遮断しなければなりません。
従来の装置の場合でも「ガスが隙間から漏れる」という心配は拭えず問題となったいました。
本装置は、その問題点に真正面から向き合い、開発され、長期間にわたってシール性を保証できるようにした エレメントの自動清掃装置です。シール部はピストンロッドに設けられていますが、ピストン側の圧力を常に フィルタ圧力よりも高く制御することにより本質的に漏れを防止しています。(特許出願中)
特徴3:優れた電気系防爆性
本装置のフィルタ容器内では、常に爆発性雰囲気で稼働しています。
上記のシール性で「ガスが外に漏れない」ですが、あらゆる「爆発を誘発させるリスク」を想定し、 圧力制御装置をはじめ、制御回路・電気設備(配線方式)も独自の技術で防爆性能を高めました。
特徴4:見やすい表示パネル
作動状況が把握できるよう表示パネルを装備しています。
システムをグラフィカルに表示することで安全に作動しているか・トラブルはないかを瞬時に 把握することが出来るほか、タッチパネル方式になっているので、画面を見ながらの操作で簡単です。
■表示画面一覧
・基本画面・フロー・トレンドグラフ・データロギング・警報表示
■設定項目一覧
・バルブ手動操作・フィルタ洗浄設定・状態変化グラフ
・バルブ動作設定・スケーリング・洗浄動作設定
■データ保存機能搭載…
表示パネル裏面に実装されたUSBメモリーに各データの保存が可能です。保存はCSV形式にて行いますのでパソコンで編集可能です。
特徴5:抜群な操作性
本装置を複数台設置した場合も、各コントローラ間を接続するのみで装置間の相互リンクが構成され、効率的な台数制御にも対応可能です。
またオプションにより、遠隔による各装置の状態監視、クリーニング、メンテナンス時期の自動通告などのメンテナンスも対応可能。
特徴6:常に万全のサポート体制
装置据付・既存設備とのインターフェイス設備から工事・メンテナンスに至るまで常に万全のサポートいたします。

標準仕様

●セパレーターカートリッジ
【セパレーターカートリッジ外寸】φ650×L1600
【素材】SUS304
●セパレーターカートリッジ材質:SUS304
【フィルター材質】PTEE+ポリエステルフェルト
【フィルター耐熱温度】100℃未満
【フィルター除去効率】濃度65%以内にて90%以上(粉体粒径0.08μm以上)
●クリーナー用シリンダー
【メーカー 及 型式】
SMC CG5BA32SV-220
作業方式:複動片ロッド
使用流体:空気
最高使用圧力:1.0MPa
最低使用圧力:0.05MPa
周囲温度 及 使用流体温度:-10~70℃

■供給電源

  1. 主 電 源…AC100V 単相 0.5KVA
  2. 制御電源…主電源より供給

■基本動作

  1. 装置制御…フィルター圧損が設定値以上になると、クリーニングを開始します。
  2. 自動クリーニング機溝付セパレーターカートリッジユニット…自動操作にて開始し、5分後。

●バルブ 及 機器仕様

  1. バイパスバルブ 及 メインバルブ
    【メーカー 及 型式】KITZ 空気式ボール弁防爆リミットスイッチ付
  2. 専用コントローラー
    AC100V 50/60Hz アナログ(4ー20mADC)
    接点入力・出力型
  3. 電磁弁 (耐圧防爆型)
    【メーカー 及 型式】SMC VX2250G フジテック電動弁 AC100V 50/60Hz
  4. シリンダアクチュエーター:空気式シリンダ
    (φ32mm ストローク220mm)
  5. 操作空気圧力:標準圧力…0.27MPa
    最大圧力…0.69MPa
    操作圧力範囲…0.79MP~0.69MPa
  6. 差圧伝送器(耐圧防爆型)
    【メーカー 及 型式】横河電気製EJA430型
    (0~2000Pa もしくは 0~200mmHzO 4ー20mADC)
  7. 圧力計(屋外型)
    【メーカー 及 型式】長野計器製AA15
    (0~0.2MPa 及び 0~1.0MPa)
■屋内仕様
設計圧力…0.3MPa 設計温度…80℃
・ユーティリティ 計装空気…0.5~0.8MPa
概略寸法1000(幅)×1000(奥)×1900(高)
N2…0.5~0.8MPa
概略質量700kg